薄膜回折計

 ひょうご科学技術協会との共同研究のもと、兵庫県所有の薄膜・ナノ構造用回折計を導入させて頂き、運用を始めている(写真)。薄膜・ナノ構造用回折計は、結晶性薄膜の表面内、表面垂直方向の3次元の原子配列構造の解析ができる。その表面、界面のマイクロラフネス、薄膜の格子歪み、密度の深さ方向分布などが評価できる。0次元検出器とスリット系との組み合わせによる高角度分解能測定ができる。入射X線エネルギーEの推奨範囲は10-20 keV(3 keVまで可)。本装置は試料の回転用に4軸、検出器の回転用に2軸を有するため、逆格子空間の広い範囲にアクセスできる。平均的な配分シフト数は6シフトである。


6-axis diffractometer for structural analysis of functional thin films



ホーム
ステーション概要
装置を使いたい方へ
メンバー
研究活動