■ シリコン表面プロセスに関する研究 Study on Silicon Related Processes '

低速電子線によるシリコン表面欠陥の修復現象（ＡＦＭ＆ＳＴＭ）
シリコン・シリコン酸化膜界面の歪み分布評価（放射光）