Nano Architecture Group


■ 高温走査型トンネル顕微鏡涛坙{電子製　JEOL4500XT 表面原子像を観察できる顕微鏡です電子銃蒸着、ガス導入（４系統）、昇温(900℃まで)可能
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■ ナノテスター (二探針原子間力顕微鏡／低温走査型トンネル顕微鏡）　全体像（右図）と中身（左図）ユニソク製＋一部自作（走査部等）液体ヘリウム温度の低温で表面原子像や局所電気特性を測定する装置です
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■ 紫外線照射装置暗室クリーンブース中に設置偏極紫外光を使っての分子配向パターン形成、ＳＨＧ（二次高調波）測定に多用
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■ フーリエ変換反射型赤外分光装置基板と分子の結合状態を調べるための装置です
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■ シリコン系ＭＢＥ装置（産総研内で共同研究として利用しているもの）シリコン、ゲルマニウム、ビスマス等ドーパント原子、コバルト等シリサイド原料元素を使って原子層単位ｔで層状構造を作製することができます。成長中はＲＨＥＥＤ（高速電子線回折）を用いて表面層の結晶構造を調べることができます�


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■ 微細加工装置群（クリーンルーム施設）物質・材料研究機構にあるナノ量子ファウンドリ（クリーンルーム）電子ビーム露光装置、フォトリソグラフィ装置、ICP型ドライエッチング装置、ドラフト施設等がありますこれらの装置を組み合わせることにより微細加工が可能です


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