3次元アトムプローブユニット | NIMS

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お知らせ

2026/04/01

3次元アトムプローブユニットが発足しました。利用可能な装置は、アトムプローブ（Invizo6000、LEAP5000XS）、FIB-SEM（HeliosG4UX）です。装置の詳細は「装置リスト」を、利用方法については「利用案内」をご覧ください。