Research Interest:
- 新しい電子顕微鏡手法の開発。
透過電子顕微鏡法(TEM)における電子エネルギー損失分光法(EELS)。
走査透過電子顕微鏡法(STEM)における環状暗視野像(ADF)観察法。
その他、さまざまな分析電子顕微鏡法。
- 先端材料の,各種透過電子顕微鏡法による解析。
セラミックス、半導体素子関連材料の評価。
用いたことのある手法: 超高圧電子顕微鏡法、高分解能電子顕微鏡法、収束電子回折、コヒーレントCBED、電子エネルギー損失分光法、エネルギー分散X線分光法、エネルギーフィルターTEM、フレネルフリンジ法、DV-Xα、Chemical Lattice Imaging法、走査透過電子顕微鏡法、環状暗視野像法、など。
分析したことのある材料: MgOおよびAuクラスター、SiO2/Si界面(bird's beak)、ステンレス鋼(鋭敏化処理)、金属多層膜(GMR関連)、CoCr系磁気記録媒体(面内・垂直)、半導体用層間絶縁膜(BPSG)、DRAM、ゲート絶縁膜用シリコン酸窒化膜、金属配線、high-k材料、アルミナ、銅酸化物高温超伝導体、リチウムマンガン酸化物、高圧合成Si3N4、BN, BC2N、人工超格子ペロブスカイト型酸化物、強相関電子系ペロブスカイト型酸化物((La,Sr)3Mn2O7, (Tb,Ba)MnO3)、SiAlON、その他。
Professional Experience:
- 1989年 - 1999年 : 日立製作所,日立研究所
- 1999年 - 現在 : 科学技術庁 無機材質研究所
独立行政法人 物質・材料研究機構
Awards:
- 日本電子顕微鏡学会 論文賞 (1991)
- 応用物理学会賞B(奨励賞) (1997)
- 日本電子顕微鏡学会 奨励賞 (2001)
- 日本電子顕微鏡学会 瀬藤賞/学会賞 (2008)
- 文部科学大臣表彰 科学技術賞(研究部門)(2009)
Education:
- 東京女子医科大学病院で生まれる。
- 衣笠幼稚園-衣笠小学校,京都
- 稲毛第二小学校,千葉
- 安東小学校-安東中学校,静岡
- 静岡高校,静岡
- 名古屋大学,工学部,応用物理
- 東北大学,博士(理学)
Home town
- 福岡県粕屋郡久山町
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