2.5 mm角の単結晶ダイヤモンド基板上に作製したトランジスタ

写真
どちらがダイヤモンド?
ダイヤモンド化学気相合成装置。ダイヤモンドの合成や表面の水素終端化ができます。
NIMSの微細加工施設のクリーンルームの中。ここでダイヤモンドの表面に微細な電極を取り付け、トランジスタなどの電子素子を作ります。リソグラフィーや成膜、エッチング用の装置がそろっています。スタッフの支援を受けながら、これらの装置を操作して素子の作製を行います。
ダイヤモンド素子の電気特性を調べます。超伝導マグネット付き冷凍機を使って、1.4 Kまでの低温、9 Tまでの磁場中で電気特性を測ることができます。より低温(20 mK)・強磁場(18 T)での測定は、桜地区にある希釈冷凍機を使って行います。
居室。
(上)居室と実験室のある建物。NIMS並木地区にあるMANA棟という建物です。(中)インターンシップ生と一緒に。(下)中山杯に参加しました。