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主に顕微分光および蛍光イメージングに用いています。クライオスタットと組み合わせて、10 K程度までの低温下での測定も可能です。
スーパーコンティニューム光から出射される白色光を分光器で分光し、所望の波長の並行ビームにするための光学系です。調整用のHeNeレーザーも備えています。
顕微分光の測定系として用いている無収差分光器です。電子冷却CCDおよびEMCCDと組み合わせて使用します。
作製したデバイスの電気特性を真空下で測定するために用います。液体ヘリウムをフローさせることで10 K程度まで冷却することができます。
作製したデバイスの電気特性を大気下で簡便に測定するために用います。
室温〜極低温および０〜６テスラまでの磁場下での輸送現象測定に用います。サンプルはトップロード式で、冷凍機をオフにしなくてもサンプル交換が可能で便利です。
ナノボルトメータ、AC/DC電流源、エレクトロメータ、デジタルマルチメータ、ロックイン増幅器など種々の計測装置を揃えています。個々の実験の目的に応じて、組合せて使用します。
古い装置ですがまだまだ健在です。原子層の層数の測定等、ベーシックな構造評価に使用しています。
EDX、EELS、CCDカメラx2を備えたTEMです。TEM像観察、電子線回折測定、EELS,EDXによる元素分析と、1台で一通りのことができます。
分子線エピタキシー法によって薄膜を成長させるための装置です。電子銃加熱、Kセル、エバポレータを用いて様々な原料を飛ばすことができます。
分子線エピタキシー法によって薄膜を成長させるための装置です。その場観察用のRHEEDをつけ、原料導入ポートを6つに増やしました。順次改造予定。
コールドウォールタイプのMOCVD装置です。蒸気圧の高い有機金属化合物を原料として、様々な2次元結晶、薄膜の結晶成長に使用します。
独立した電気炉を３つ連結した管型リアクターCVD装置です。この装置では、主に遷移金属ダイカルコゲナイド原子層の成長に用いています。
細く絞った電子ビームを走査することで微細なパターンを描画します。デバイス作製に大活躍しています。
主に、リソグラフィーで作製した電極パターンの作製のため、チタン、クロム、金を蒸着しています。
試料洗浄用の水素プラズマ処理装置です。写真は発生しているプラズマの様子です。お手製の手巻きコイルを用いた誘導結合プラズマです。
電子線リソグラフィーで必要となるレジストをコートするプロセスに用いています。回転数を変えることで、塗布するレジストの厚さをコントロールできます。
微細なデバイスへ導線を配線するために用いています。手作業では難しい小さな電極パッドに、金やアルミニウム線を位置精度良く付けることができるので、重宝します。
