球面収差補正透過電子顕微鏡

局所化学結合状態解析システム: ThemisZ
300 kV- 30 kV, Schottky-gun, EELS (GIF), EDS (Dual-X)
Monochromator (Ultimono, mono), Cs-corrector for probe-forming (S-CORR)
 詳細はこちらのPDFファイルをご覧ください
高エネルギー分解能スペクトル計測(EELS)に適した装置です。世界最高レベルのエネルギー分解能20meVを実現しています。
電子顕微鏡グループあるいは電子顕微鏡解析ステーション・高分解能グループに御相談いただければご利用いただけます。
吉川純(kikkawa.jun[@]nims.go.jp)または木本浩司(kimoto.koji[@]nims.go.jp)までお問い合わせください。
 

 

 

単原子分析電子顕微鏡: Titan cubed
300 kV - 40 kV, Schottky-gun, EELS (GIF), EDX (Oxford)
Monochromator, Cs-correctors for probe-forming (DCOR) and imaging (CETCOR)
 詳細はこちらのPDFファイルをご覧ください
高空間分解能像観察(STEM/TEM)に適した装置です。
電子顕微鏡解析ステーション・高分解能グループにて共用しています。NIMS微細構造解析プラットフォーム事業(成果公開を基本)や共同研究(成果非公開可)でもご利用いただけます。超高エネルギー分解能が必要な場合(<0.1 eV)には上記の局所化学結合状態解析システムにて計測します。
木本浩司(kimoto.koji[@]nims.go.jp)、CRETU Ovidiu (cretu.ovidiu[@]nims.go.jp)、あるいは長井拓郎(nagai.takuro[@]nims.go.jp)までお問い合わせください。

 

 

 


その他の装置

 
下記の装置群についても、電子顕微鏡グループおよび電子顕微鏡解析ステーション・高分解能グループにご相談ください。
 
 
冷陰極電界放出型透過電子顕微鏡: HF-3000S/L (Hitachi High-Tech)
300 kV - 100 kV ローレンツ像観察可能
 
集束イオンビーム(FIB)装置: FB-2000s (Hitachi High-Tech)
30 kV, マイクロサンプリング
 
イオン研磨装置: PIPS II (Gatan)
5 kV, CCDカメラ付属, 試料冷却機能付
 
 
卓上SEM: TM4000 Plus II (Hitachi High-Tech)
20 kV - 5 kV 
カーボン膜蒸着装置: VES-30T (真空デバイス)
TMP排気方式、卓上型
 
その他、各種機械研磨装置などを運用しています