宝飾品のイメージの強いダイヤモンド。実は極限環境中でも動作する次世代パワーデバイス用の半導体に使うことができる優秀な材料でもある。多くの電子機器に搭載されている大規模集積回路CMOSには、p型チャネルMOSFETとn型チャネルMOSFETという2種類のMOSFETが必要だが、ダイヤモンド半導体を使ったn型チャネルMOSFETの作成は成功していなかった。NIMSは世界に先駆けてこのn型チャネルダイヤモンドMOSFETを実現した。成果の礎となったのは、高品質単結晶n型ダイヤモンド半導体成長技術。写真は、マイクロ波プラズマ化学気相成長装置で形成されるn型ダイヤモンド半導体。宝石とはまた違う美しさを持つ材料だ。
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