装置
試料作製技術
| 主なスペック | 回転速度10～500rpm、研磨剤滴下量0.25～18mL/分 10段階調節 |
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| 装置の特徴 | 高品質な平坦度と応力のない表面が得られ、再現性がある |
| 主な対応試料 | 金属材料、セラミックなど材料全般 |
| 関連情報 | |
| 担当 |
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装置概要・アピールポイント
- 仕上がり面の再現性を高めた自動供給機付き研磨機 (図1)
- プログラム制御、研磨剤供給制御、個別荷重制御、Z軸研削量制御機能を搭載
- 高精度解析・分析用試料等の最終仕上げに有効な振動研磨機 (図2)
- 自動研磨機と振動研磨機を組み合わせることにより、試料表面の平坦度を大幅に改善 (図3)
- 自動研磨工程で生じた加工ひずみを取り除くことで、表面精度が求められるEBSDの鮮明な解析パターンの取得が可能 (図4)
図3：Cu試料研磨後の表面の3D画像(高さ倍率10000％)と
レーザー+カラー画像(倍率200倍)
