B12：固体電池材料薄膜作製装置NanoGREEN棟　E-506室

メーカー名	Pascal
型式	MC-LMBE
用途	パルスレーザーを使って真空中で固体材料を蒸発，堆積させ，新しい組成の電池材料薄膜を創る
概要	PLD（Pulsed Laser Deposition)装置。Nd:YAGレーザーにより固体ターゲットを蒸発させ，真空中において薄膜を形成。レーザー加熱により基板を1000℃まで加熱可能。