A6：レーザー顕微鏡NanoGREEN棟 E-501室
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メーカー名 |
KEYENCE |
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型式 |
VK-X200 |
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用途 |
形状，粗さ状態の観察及び定量分析。３次元表示。 |
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概要 |
試料表面をレーザーで走査し，非破壊で高精度な形状・粗さ測定を行う。ピンホール共焦点光学系により焦点位置以外からの反射光を完全に排除し，高精度測定と高解像度観察が可能。高精度3次元測定が可能。 |
装置仕様
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総合倍率 |
x200～x24,000 |
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観察・測定用光学系 |
ピンホールによる共焦点光学系 |
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高さ測定｜表示分解能 |
0.0005μm |
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高さ測定｜測定範囲 |
7㎜ |
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フレームメモリ｜ピクセル数 |
2048x1536,1024x768,1024x64 |
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フレームメモリ｜映像用（モノクロ） |
16bit |
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フレームメモリ｜映像用（カラー） |
8bit |
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フレームメモリ｜高さ測定用 |
24bit |
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測定用レーザ光源｜波長 |
バイオレットレーザ 408nm |
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測定用レーザ光源｜最大出力 |
0.95mW |
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受光素子 |
PMT（光電子増倍管） |
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光学観察用｜ランプ |
100Wハロゲン |
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光学観察用カラーカメラ｜撮像素子 |
1/3型カラーCCDイメージセンサ |
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光学観察用カラーカメラ｜撮影解像度 |
3072x2304 |
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光学観察用カラーカメラ｜オート調整 |
ゲイン，シャッタースピード |
使用上の注意
- ドライルーム内に設置されています。
