A6:レーザー顕微鏡NanoGREEN棟 E-501室

|
メーカー名 |
KEYENCE |
|---|---|
|
型式 |
VK-X200 |
|
用途 |
形状,粗さ状態の観察及び定量分析。3次元表示。 |
|
概要 |
試料表面をレーザーで走査し,非破壊で高精度な形状・粗さ測定を行う。ピンホール共焦点光学系により焦点位置以外からの反射光を完全に排除し,高精度測定と高解像度観察が可能。高精度3次元測定が可能。 |
装置仕様
|
総合倍率 |
x200~x24,000 |
|---|---|
|
観察・測定用光学系 |
ピンホールによる共焦点光学系 |
|
高さ測定|表示分解能 |
0.0005μm |
|
高さ測定|測定範囲 |
7㎜ |
|
フレームメモリ|ピクセル数 |
2048x1536,1024x768,1024x64 |
|
フレームメモリ|映像用(モノクロ) |
16bit |
|
フレームメモリ|映像用(カラー) |
8bit |
|
フレームメモリ|高さ測定用 |
24bit |
|
測定用レーザ光源|波長 |
バイオレットレーザ 408nm |
|
測定用レーザ光源|最大出力 |
0.95mW |
|
受光素子 |
PMT(光電子増倍管) |
|
光学観察用|ランプ |
100Wハロゲン |
|
光学観察用カラーカメラ|撮像素子 |
1/3型カラーCCDイメージセンサ |
|
光学観察用カラーカメラ|撮影解像度 |
3072x2304 |
|
光学観察用カラーカメラ|オート調整 |
ゲイン,シャッタースピード |
使用上の注意
- ドライルーム内に設置されています。
