A5：高速分光エリプソメータNanoGREEN棟　E-501室

J.A. WooLLAM

M-2000X

試料構造，光学定数，バンドギャップ，合金組成，相構造の測定

光が試料と相互作用することによって起こる偏光の変化を解析することで膜厚や物質の光学定数を測定する装置。回転補償子型エリプソメーター（⊿：0～360°,ψ：0～90°）により精度の良い測定が可能。全波長を同時測定するCCD検出器により高速測定が可能。