A31：走査型オージェ電子分光装置超微細棟107室
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メーカー名 |
ULVAC-PHI |
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型式 |
PHI710 |
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用途 |
固体表面の元素・組成分析。化学結合状態の分析。 |
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概要 |
この装置では，試料に集束された電子線を照射し，オージェ過程を経て放出された電子の運動エネルギーを検出することで，元素組成および化学結合状態を分析することが可能である。最小分解能8 nm，最大拡大倍率50万倍での低ドリフト測定が可能である。試料は専用のトランスファーベッセルを利用して，大気非暴露搬送が可能である。 |
装置仕様
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SEM像分解能 |
≤ 3nm（25kV） |
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AES空間分解能 |
≤ 8nm（20kV,1nA） |
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感度 |
700kcps（CuLMM）（10kV,10nA） |
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エネルギー分解能 |
0.5%以下（HRモード 0.1～0.5%） |
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到達真空度 |
6.7ｘ10-8Pa以下 |
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試料ステージ |
冷却対応 |
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試料搬送 |
大気非曝露搬送対応 |
使用上の注意
- 冷却ステージ設置のため高分解能モードは使用不可です。
- 超高真空機器につき，揮発成分により装置内を汚染する可能性のある試料は原則測定できません。揮発成分のある試料につきましては事前にご相談下さい。（硫化物を含む試料は測定不可）
