A30：SEM_2 スタンダードNanoGREEN棟　E-103室

メーカー名	JEOL
型式	JSM-7800F
用途	SEM観察, EDS測定, WDS測定, EBSD測定
概要	静磁場と静電場を重畳させた対物レンズを備え，加速電圧（0.01～30kV）で高分解能（0.8nm（15kV）/1.2nm（1kV））な観察が可能。EDS,EBSD,WDS測定可能。大気非曝露搬送対応。

分解能	0.8nm（15kV），1.2nm（1kV），3.0nm（15kV，5nA，WD10mm）
倍率	x25～x1,000,000
加速電圧	0.01kV～30kV
ビーム電流	数pA～200nA
検出器	UED/LED/USD/BED
ジェントルビーム	組込み
デジタル画像	1,280x960画素，800x600画素
分析器	・エネルギー分散型X線分析装置（EDS）・波長分散型X線分析装置（WDS）・結晶方位解析装置（EBSD）
試料ステージ	冷却不可
試料搬送	大気非曝露搬送対応