A29：SEMNanoGREEN棟 E-108室
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メーカー名 |
JEOL |
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型式 |
JSM-7800F |
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用途 |
SEM観察, EDS測定, WDS測定, EBSD測定 |
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概要 |
静磁場と静電場を重畳させた対物レンズを備え，低加速電圧（0.01～30kV）で高分解能（0.8nm（15ｋV）/1.2nm（1kV））な観察が可能。軟X線分光器を搭載しており，50eVからの検出が可能であるためLi-K発光（54eV）の計測が可能。EDS,EBSD測定可能。大気非曝露搬送対応。 |
装置仕様
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分解能 |
0.8nm（15kV），1.2nm（1kV），3.0nm（15kV，5nA，WD10mm） |
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倍率 |
x25～x1,000,000 |
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加速電圧 |
0.01kV～30kV |
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ビーム電流 |
数pA～200nA |
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検出器 |
上方検出器（UED），下方検出器（LED） |
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ジェントルビーム |
組込み |
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デジタル画像 |
1,280x960画素，800x600画素 |
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分析器 |
・エネルギー分散型X線分析装置（EDS） |
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試料ステージ |
冷却可能 |
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試料搬送 |
大気非曝露搬送対応 |
使用上の注意
- 超高真空機器につき，揮発成分により装置内を汚染する可能性のある試料は原則測定できません。揮発成分のある試料につきましては事前にご相談下さい。（硫化物を含む試料は測定不可）
