A27：FIBNanoGREEN棟 E-105室
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メーカー名 |
JEOL |
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型式 |
JIB-4501 |
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用途 |
FIB加工およびSEM観察，SEM/TEM試料作製 |
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概要 |
熱電子銃形SEMと高性能イオンカラムを搭載した複合ビーム加工観察装置。加工ステージの冷却対応にて，低ダメージのFIB加工が可能。メッシュへのサンプリングはグローブボックス内で実施。大気非曝露搬送対応。 |
装置仕様
FIB（集束イオンビーム）
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イオン源 |
Ga 液体金属イオン源 |
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加速電圧 |
1～30kV |
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倍率 |
・x30（視野探し用） |
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像分解能 |
5nm（30kV時） |
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最大ビーム電流 |
60nA（30kV時） |
SEM（電子ビーム）
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ビーム源 |
LaB6 |
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加速電圧 |
0.3～30kV |
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倍率 |
x5～300,000 |
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像分解能 |
2.5nm（30kV時） |
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最大ビーム電流 |
1μA（30kV時） |
その他
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試料ステージ |
冷却可能（液体窒素） |
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試料搬送 |
大気非曝露搬送対応。付属のグローブボックス内でサンプルピックアップが可能。 |
使用上の注意
- 超高真空機器につき，揮発成分により装置内を汚染する可能性のある試料は原則測定できません。揮発成分のある試料につきましては事前にご相談下さい。（硫化物を含む試料は測定不可）
