A26：TEM/STEMNanoGREEN棟 E-105室
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メーカー名 |
JEOL |
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型式 |
JEM-ARM200F（HR） |
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用途 |
TEM/STEM観察，EELS測定，EDS測定 |
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概要 |
照射系球面収差補正装置を搭載し，超高分解能（STEM-HAADF：78pm（200ｋV))での観察を実現させるとともに，高いエネルギー分解能のEELS測定が可能。大気非曝露搬送対応。 |
装置仕様
電子銃
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電子銃 |
冷陰極電界放出形電子銃 |
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加速電圧 |
60,80,200kV |
分解能
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走査透過暗視野像 |
78pm（加工電圧200kV） |
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透過像（点分解能） |
190pm（加速電圧200kV） |
倍率
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走査透過像 |
x200～x150,000,000 |
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透過像 |
x50～x2,000,000 |
その他
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収差補正装置 |
照射系球面収差補正装置 |
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分析器 |
・エネルギー分散型X線分析装置（EDS） |
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試料ホルダー |
雰囲気遮断（二軸），クライオ雰囲気遮断（二軸） |
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試料搬送 |
大気非曝露搬送対応 |
使用上の注意
- 超高真空機器につき，揮発成分により装置内を汚染する可能性のある試料は原則測定できません。揮発成分のある試料につきましては事前にご相談下さい。（硫化物を含む試料は測定不可）
