A16：グロー放電発光分析装置（GD-OES）NanoGREEN棟 E-504室
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メーカー名 |
HORIBA |
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型式 |
GD-Profiler 2 |
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用途 |
試料の表面分析/深さ方向分析 |
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概要 |
Arプラズマにより試料をスパッタリングさせ，スパッタされた原子を原子発光させることで元素分析を行う装置。パルススパッタにより高分解能深さ方向測定が可能。高周波方式グロー放電により，導電性固体のバルク分析が可能。 |
装置仕様
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検出器 |
光電子増倍管 |
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分光器 |
ポリクロメーター(32元素)，モノクロメーター(1波長) |
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感度（検出下限） |
数10ppm～ |
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測定深さ |
～200μm |
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深さ方向分解能 |
数nm～ |
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適用試料 |
導電性材料・非導電性材料 |
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放電径 |
φ4mm |
使用上の注意
- 非導電性バルク試料は測定できません。
- 導電性の異なる材料の積層試料は測定が困難です。
