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高品質・高純度なワイドギャップ半導体（ダイヤモンド、窒化物半導体、酸化物半導体）の薄膜単結晶を成長させる成長技術を確立し、深紫外線（DUV、波長280nm以下）のみに応答する高効率・高感度・高速応答性を持つ深紫外線センサーを開発します。 更に、有害物質の蛍光や炎から出る紫外線を検知するセンサーとしての性能を実証することによって、化学センサーデバイスとしての可能性を追求します。 |
パッケージングされた深紫外線センサーデバイス
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パッケージングされた深紫外線センサーデバイス |
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