深紫外線センサーデバイス開発のためのアプローチ
ｐｎ接合型の深紫外線センサー
金属-半導体-金属（MSM）型の
深紫外線センサー
ショットキー接合型の
深紫外線センサー
地表上での太陽光スペクトル。波長２８０ｎｍ以下の紫外線を
深紫外線（DUV）と呼ぶ。
深紫外線照射時および暗条件における電流−電圧特性
光応答特性および応答時間特性
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