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メンバーの櫻井 健次さんが論文を発表
2018.09.26
櫻井 健次さん（NIMS）らが、Ｘ線蛍光分析法によって積層薄膜の厚み決定のためのラウンドロビンテスト結果を出版
積層薄膜の各層の厚さを非破壊的な蛍光X線分析法によってどこまで高信頼性で決定できるか、ラウンドロビンテストを実施して検証しました。使用した機器や測定条件などは相互に相当に異なるにもかかわらず、きわめてよい一致が得られました。
このように安定性と繰り返し再現性に注目すると、全国津々浦々のあらゆるX線分析機機器の測定の信頼性を担保することにも有効であります。そのため、ラウンドロビンテストで用いられた試料は認証標準物質として公開頒布されました。
櫻井 健次さん（NIMS 先端材料解析研究拠点 上席研究員）
櫻井 健次さん（NIMS 先端材料解析研究拠点 上席研究員）