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第128回先端計測オープンセミナー
絶対計測AES・SE;これまでにできたこと、現在やっていること、未解決の問題
後藤敬典 名誉教授 (名古屋工業大学)

2018年9月11日 (火) 14:00-15:00 / September 11, 2018, 14:00-15:00

会場/Venue:

千現地区 研究本館8階 中セミナー室
Sengen Main Bldg. 8F Middle Seminar Room

講演者/Speaker:

後藤敬典 名誉教授(名古屋工業大学)
Kesuke Goto, Professor Emeritus (Nagoya Institute of Technology)

表題/Title:

絶対計測AES・SE;これまでにできたこと、現在やっていること、未解決の問題
An absolute measurements of AES and SE; those have been done, being performing, and not been resolved

講演要旨/Abstract:

絶対計測AES・AESはVAMAS—SCAの日本側のワークショップが端緒である。最初に産官学のAESのラウンドロビン(NPL)に参加したが、これにより絶対計測の必要性が決論された。初期の仕事は各方面の援助を得ながら著者の名工大で行われ、詰めはまだだったが配信できるまでになった。著者の退職に伴い、装置をAISTに移し、最難関であった分光器(CMA)の透過率計測を行い、システムを完成させることができた。その後は未発表のも含め8千本近いスペクトルを得た。平成30年3月に、装置をNIMSに移設し、専任者は変わったが同じように仕事が続けられている。未解決の問題として、仕事関数とスペクトル(低速のSEに現れるものも含んで)の帰属がある。

The absolute AES and SE measurements were originated in one of the VAMAS-SCA project in Japan. The first work was a round robin experiments which had been led by NPL. We discussed about the results and determined to make an electron energy analyzer (CMA) to obtain an absolute spectrum to solve the diverged results. The prototype of the measuring system was designed and constructed in Nagoya Institute of Technology and preliminary results were obtained. Then after the system was transferred to AIST, where the transmission faction of the CMA was successfully determined. This work was the most difficult one in the course of the project. In March of 2018 the whole system was transferred to NIMS and are performing as before. Unresolved themes are work-function and identification of the obtained spectra including those observed in the slow SE.
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