3DAP; Three-dimensional Atom Probe

AMETEK社製 LEAP5000XS。３次元アトムプローブは、電子顕微鏡では分析のできない軽元素を含む全ての元素について個々の原子の同定と位置決定ができるユニークな分析装置で、さまざまな材料やデバイス中の元素分布の３次元解析に威力を発揮します。金属材料のみならず、半導体デバイス・絶縁体材料のナノ領域の原子分布を可視化します。またFIB-SEM複合装置を用いたマイクロサンプリング法により、任意領域からの分析も可能になっています。

STEM; Scanning Transmission Electron Microscope

FEI社製 Titan G2 80-200。球面収差補正(Cs-corrected)により電子線を非常に小さく収束させ、原子間距離を下回る0.08nmの空間分解能を持つ。単原子レベルでの構造観察や、EDS (Energy Dispersive x-ray Spectroscopy), EELS (Electron Energy-Loss Spectroscopy)等元素分析が可能な高分解能走査型透過電子顕微鏡(S/TEM)です。