研究成果

ホーム > 研究活動 > 研究成果 > 地上でもっとも薄く伝導性の高い集積回路実現へ

地上でもっとも薄く伝導性の高い集積回路実現へ

-原子膜グラフェンを用いたロジック素子-

Li Songlin ( ICYS-MANA研究員 )
塚越 一仁 ( 主任研究者 )

地上に存在するもっとも薄く伝導性の高い薄膜(原子膜)であるグラフェンを用いた集積電子回路の基本要素が試作され、その動作検証に成功した。

図1 作製したグラフェン素子の高額顕微鏡写真
左: 1枚のグラフェンを加工して形成したチャネル
右: ソースドレイン電極とゲート電極を形成した後の構造


図2 インバータ回路の等価回路図。2つのグラフェントランジスタがそれぞれp型とn型として作動する