主要装置
スピントロニクスグループの研究は、成膜および微細加工による試料作製と、試料評価の二つに大きく分けることができます。ここでは本グループで使用している主要な装置に関して紹介いたします。
| 超高真空成膜用クラスター | 超高真空スパッタ装置 | 多目的高真空蒸着装置 | 多目的スパッタ装置 |
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| 電子ビーム露光装置 | マスクアライナー | マスクアライナー | Arイオンミリング装置 |
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測定装置
| 試料振動型磁力計 | SQUID磁力計 | 高磁界マイクロKerr効果測定装置 | 走査型電子顕微鏡 |
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| PPMS | CIPT | 小型電磁石 | マイクロ波プローバー |
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