桜地区で稼働中の顕微スピン分解光電子分光装置です。真空紫外レーザーを励起光として用いています。実空間と運動量空間の両方でスピン分解光電子分光測定が可能です。実空間モードではスピン積分計測で空間分解能30nm、スピン分解計測で空間分解能400nmを達成しています。また、国内では初めてイメージング型のスピン検出器の開発にも成功しており、従来のスピン分解光電子分光と比較して測定時間を４桁短くすることができました。

3GeV高輝度放射光施設NanoTerasuのBL07UにおいてSoft-X-ray Complete OpeRando PhotoemIssion UltramicroScopy (SCORPIUS)装置が立ち上がりました。定常状態から動作環境まで、材料やデバイスのスピンも含めた電子状態を可視化します。

桜地区で稼働中のSES100を用いた光電子分光装置です。X線管とヘリウム放電管が入射光源として装備されており、XPSとUPS測定が可能です。

原子間力顕微鏡（AFM）と顕微ラマン分光装置を組み合わせた複合分析装置です。同一試料位置に対して、AFMによる表面形状・局所物性評価とラマン分光による結晶構造・振動状態の分析を行うことができます。さらに、探針増強ラマン分光（TERS）によるナノスケール分光や、電圧印加などの外場下でのオペランド計測にも対応しています。

顕微ラマン分光装置(ナノフォトン)にピエゾ駆動独立4探針ステージを導入しました。微細デバイス構造のオペランドラマン分析や、電極加工不要でナノ材料の輸送特性・分光同時計測を行う音ができます。機械学習を利用したスペクトルデータ解析も実施しています。

走査電子顕微鏡（SEM）内に独立駆動する4本の微細探針を備えた装置です。SEMで試料表面や探針位置を観察しながら、微小試料の局所的な電気伝導測定や、電場印加に伴う変化のその場観察ができます。また、隣接する分子線エピタキシー（MBE）装置で成長した薄膜を、大気に暴露することなく搬送して測定を行うことができます。