
ダクトレスヒュームフード

スピンコーター

スピンコーター

UV/オゾンクリーナー

真空プローバー

グローブボックス

湿潤制御アクチュエータ評価装置(電圧印加下の力・変位測定)

大気下アクチュエータ評価装置(電圧印加下の力・変位測定)

紫外可視分光光度計(187〜900nm)

示差走査熱量計(−150〜600℃)

温度可変X線回折装置(2θ>1°、温度>室温)

抵抗加熱式真空蒸着装置

全自動フィルムアプリケーター

4探針低抵抗率計

電気化学分析装置(インピーダンスアナライザ、ポテンショガルバノスタット)

プラズマスパッタ装置

動的粘弾性測定装置

分光蛍光光度計

偏光顕微鏡システム(−100〜420℃)

半導体パラメータアナライザ

レーザードップラー振動計測システム

原子間力顕微鏡(加熱・光照射・電圧印加)

卓上走査型電子顕微鏡

白色干渉顕微鏡

蛍光寿命測定装置

YAGレーザー(飛行時間型電荷移動度測定システム)

電気化学アナライザー

プラズマエッチング装置

高電界コロナ放電装置

バイポーラー電源

エレクトロメーター

炭酸ガスレーザープリンタ

振動発生装置

LB膜作製評価装置

熱重量ー質量同時分析装置

小角広角X線回折装置(微小角入射GIXRD)

リサイクル分取GPC

中圧分取HPLC

凍結乾燥装置

低温反応装置

イオンクロマトグラフィー,分子量分布分析用GPC

中圧分取HPLC,マイクロ波合成装置

エバポレーター

ドラフト1台

ドラフト2台