偏光顕微鏡システム(−100〜420℃)
ダクトレスヒュームフード
スピンコーター
スピンコーター
UV/オゾンクリーナー
真空プローバー
グローブボックス
湿潤制御アクチュエータ評価装置(電圧印加下の力・変位測定)
大気下アクチュエータ評価装置(電圧印加下の力・変位測定)
紫外可視分光光度計(187〜900nm)
示差走査熱量計(−150〜600℃)
温度可変X線回折装置(2θ>1°、温度>室温)
抵抗加熱式真空蒸着装置
全自動フィルムアプリケーター
4探針低抵抗率計
電気化学分析装置(インピーダンスアナライザ、ポテンショガルバノスタット)
プラズマスパッタ装置
動的粘弾性測定装置
分光蛍光光度計