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装置紹介
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| 常温接合装置（設置場所：無塵特殊実験棟） |
| イオン衝撃による表面活性化を利用した常温接合（PDF） オプトエレクトロニクス集積化への応用、マイクロシステム・パッケージングへの応用、エレクトロニクス実装への応用が期待される。 |
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