寺地徳之 (Tokuyuki TERAJI)

物質・材料研究機構　光・電子材料ユニット　ワイドギャップ機能材料グループ
Wide Bandgap Material Group, Optical and Electronic Materials Unit
National Institute for Materials Science (NIMS)

Note (Experimental Setup)

2014-01-26

NIMS型CVD3号機の納入。

2011-09-28

NIMS型CVD2号機でのプラズマ着火に成功。

Past information

2014-01-26

NIMS型CVD3号機の納入。

2011-09-28

NIMS型CVD2号機でのプラズマ着火に成功。