A32：クロスセクションポリッシャ（CP）NanoGREEN棟 E-108室
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メーカー名 |
JEOL |
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型式 |
IB-09020CP |
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用途 |
大気非曝露での断面SEM観察用試料作製 |
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概要 |
Ar+イオンビームと遮蔽板を用いて試料の断面を加工する断面試料作製装置。断面加工モニター用カメラを搭載し，加工状況がリアルタイムに確認可能。試料ステージ冷却可能。大気非曝露搬送対応。 |
装置仕様
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イオン加速電圧 |
2～8kV |
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イオンビーム径 |
500㎛（半値幅） |
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ミリングスピード |
300㎛/h以上（8kV） |
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試料移動範囲 |
X軸:±10mm Y軸:±3mm |
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試料角度調整範囲 |
±5° |
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試料加工スイング角 |
±30° |
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試料搬送 |
大気非曝露搬送対応 |
使用上の注意
- 超高真空機器につき，揮発成分により装置内を汚染する可能性のある試料は原則測定できません。揮発成分のある試料，硫化物を含む試料につきましては事前にご相談下さい。
