3次元アトムプローブユニット|AESD

概要

3次元アトムプローブ法は、ナノスケールのデバイスでの元素分布、材料内の元素の不均一な分布、半導体ドーパントなどの微量添加元素を精度良く解析することが可能な唯一の手法です。当ユニットでは3次元アトムプローブを中心に電子顕微鏡と組み合わせた相補的解析を実施、これによって、精緻かつ高度なナノ組織解析サービスを提供します。