デバイス評価装置

ラボツアー<デバイス評価、その他>

電流-電圧測定プローバー(真空対応)

 3つのプローバーにより有機薄膜トランジスタ測定が可能。
 一度大気に出したデバイスを真空中で測定。
 ・上:全体図 下:拡大(上掲画像 右上部を上から見る)
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電流-電圧測定プローバー(グローブボックス内)

 3つのプローバーにより有機薄膜トランジスタ測定が可能。
 デバイス作製後、一度も大気に出さずに測定が可能。
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低温真空プローバー

 低価格ではあるが、4つのプローバーを有し、真空、低温(室温から-120℃)で電気測定が出来る。冷凍機で低温にするので、気軽に測定が出来る使い易い装置である。
 -120℃~室温の範囲だが(ゆえに物理系の方には物足りないかもしれないが)、有機デバイスの測定には十分な温度範囲と思われる。ALSテクノロジー製。
 ・上:上部図、下:全体図
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有機EL測定系

 輝度、電流-電圧をパソコンで取り込むことが可能。
 ELスペクトル測定は安価なオーシャンオプティクスUSB4000を使用。
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分光光度計

 200-900nmの紫外・可視光の吸収スペクトルが測定出来る。
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分光蛍光光度計

 200-850nmの蛍光スペクトルを測定出来る。標準仕様は750nmであったが、850nmまで拡張。直径100mmの積分球を有しているので、量子収率も精度よく求められる。
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小型プローブ顕微鏡(AFM)

 光テコと自己検知、ヘッドを変えることで両方のカンチレバーを使える。光テコの光軸合わせは簡単に出来るので、もっぱら光テコの方を用いている。低価格で、使い易い。
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微細形状測定機(膜厚計)

 触針式膜厚計と言えば、海外メーカーを思い浮かべる方が多いと思いますが、国内では(株)小坂研究所が、良い装置を製作、販売しております。このET- 200 はX-Zだけの動作ですが、単に膜厚(段差)を求めるには安価で使い易い装置です。触針圧も低く設定出来るので、20nm程度の有機薄膜でも膜厚を求めることが出来ます。
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誘電体測定システム

 有名なソーラトロンの装置です。この装置で有機半導体薄膜の移動度測定を行っております。Alq薄膜(200nm)の移動度はTOF法と電界依存まで類似な電子移動度が求まりました。原理や理論を理解し、装置を使いこなせば、かなりのツールになると思います。勉強中。
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