薄膜・デバイス作製装置

ラボツアー＜薄膜・デバイス作製装置＞

真空蒸着機

上から順に、
　・有機物専用
　・無機物専用
　・有機物・金属両用の真空蒸着装置。
　　KIYON製グローブボックスと連結している。

スピンコーター　2台

　溶液を基板に滴下し、高速回転させることで薄膜を形成する装置。2台のうち、小型のタイプは、グローブボックス内に設置。
　有限会社　押鐘製。

ディップコーター

　溶液中に基板を浸し、引き上げることで基板上に薄膜を形成する装置。
　引き上げ速度を変えることで膜質、膜厚などを変えることが出来る。

パリレンコーター

　パリレン、すなわちパラキシリレン系樹脂をコーティングする装置。【自作】
　主に有機薄膜トランジスタの絶縁膜に使用している。
　・上：装置写真、下：クロロパラキシリレンポリマー構造式

延伸機

　高分子フィルムを一軸延伸する装置。延伸することで配向高分子膜を作製することが出来る。
　窒素ガスを導入し300℃まで加熱しながら延伸することが可能。

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