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世界最高性能の薄膜コンデンサ素子を開発

-ナノの高誘電体シートで素子の小型化と大容量化を同時実現-

長田 実 ( MANA研究者 )
佐々木 高義 ( 主任研究者 )

分子レベルの薄さ(厚み:1.5ナノメートル)の新しい高誘電体シートを発見し、ビーカーを使ったナノテクで世界最高性能の薄膜コンデンサ素子の作製に成功した。これにより、コンデンサ素子のさらなる小型化と大容量化が可能となり、次世代の大容量コンデンサ素子開発への新しい道が開けた。

図1 酸化物電極上に作製したナノシート積層膜の断面構造の透過型電子顕微鏡像