イベント

千現地区 研究本館8階 中セミナー室

谷口 幸範 博士
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社、アサイラム リサーチ事業部、アプリケーショングループ

石井 孝治 博士
オックスフォード・インストゥルメンツ株式会社、アサイラム リサーチ事業部、アプリケーショングループ

Mr. Oskar Amster
Prime Nano Inc. Director of Sales & Marketing

1. 原子間力顕微鏡(AFM)は、高い空間分解能に加え観察対象や測定環境に制約が少ないことから、表面科学、デバイス、（生体）高分子研究者の間で幅広く用いられている。近年は、直接サンプルに触れるという特徴を生かし、力学・電気特性等の”機能”の測定ニーズが高まり、工業材料への応用が進んでいる。
　アサイラム リサーチでは、AFMシステム全体の低ノイズ化、フォトサーマル励振法の導入により、誰でも比較的簡単に高分解能の測定を行える装置を開発してきた。また、硬さ、ロスタンジェント、付着力等を計測する多様な測定モードを用意し、幅広い需要に応え応用範囲を広げつつある。本セミナーでは、アサイラムAFMの最新技術を詳しく紹介する。

2. 近年のタブレット端末やスマートフォンの発展に伴い、半導体のみならずエレクトロニクス部品のさらなる開発が重要となっている。AFM(原子間力顕微鏡)は、形状や力学特性を評価するだけでなく、導電性プローブを用いてサンプルに直接接触させることにより、電気的特性を評価することができる。サンプルにDCバイアスを印加し電流を検出するコンダクティブAFMや、表面電位を検出するSKPM(走査型ケルビンプローブ顕微鏡)など数多くの測定モードが開発されている。
アサイラム リサーチでは、電気特性評価についてもユニークな手法を開発してきた。本セミナーでは、アサイラムAFMの最新技術を詳しく紹介する。強誘電体に対して、電圧印加時の局所的ひずみを計測し、ナノドメイン構造を明らかにするPFM(ピエゾ応答力顕微鏡)では、DART(デュアルAC共振トラッキング)を組み合わせることで大きく発展させることに成功した。さらにその技術がLIB(リチウムイオン電池)のアプリケーションに応用された。また、Prime Nano Inc.が開発したsMIM(走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡)を搭載し、半導体キャリア濃度測定を行った結果を紹介する。