装置紹介

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主な実験装置

化学気相堆積装置(CVD)
分子線堆積装置(MBE)
原子層堆積装置(ALD)
3kW3源電子線蒸着装置
3源DC+RFスパッタ装置
Si用スパッタ装置
金属用スパッタ装置
熱蒸着装置
CWレーザーアニール
赤外線急速熱処理装置(RTA)
グローブボックス
表面オゾン処理装置
3波長ラマン分光装置
X線回折装置(XRD)
電子スピン共鳴装置(ESR)
量子効率測定装置
キャリア寿命測定装置
プローバ・ソーラーシミュレータ