探針をChangeする方法

�@　すでにchamber#1（測定室）に入っている探針を十分「Release」する。

�A　chamber#1上部ジグをLOCKする。

�B　chamber#1にサンプルが入っていればchamber#2（処理室）ストック台に移動する。

�C　chamber#1の探針を十分「Approach」した後、ロッドで取りchamber#2にストックする（ストックする場所を控えておく）かchamber#3（導入室）に移動する。

�D　Gate Valve#1をCLOSE、Gate Valve#2をOPENする。

�E　chamber#3の新しい探針（ref ; 新しくサンプルや探針を入れる方法）をロッドに取っておく。

�F　Gate Valve#2をCLOSE、Gate Valve#1をOPENする。

�G　chamber#1に新しい探針を十分「Approach」した状態でSETする。

�H　SETした探針を十分「Release」した後、chamber#2のサンプルをSETする。