新しくサンプルや探針を入れる方法

�@　サンプルや探針はそれぞれ専用ホルダーにSETし、準備する。

�A　真空計３をOFFする。

�B　Gate Valve#2をCLOSEする。

�C　Turbo横のコック＆Gate Valve#3をともにOPENする。

�D　TMP（ターボ分子ポンプ）をSTOPする。

�E　RP（ロータリーポンプ）をOFFする。

�F　約10min.待つ。

�G　N₂導入用のリーク弁を少しOPENする。

�H　サンプルホルダー、探針ホルダーのストック台を
　　 chamber#3（導入室）の上ぶたから見える位置で固定しておく。

�I　chamber#3の上ぶたをOPENする。
　　 古いガスケットは廃棄し、新しいガスケットを用意しておく。
　　　（ガスケットはベーキングしてなければ
　　　　　　　　　　　　　３回くらい使い続けること可能）

�J　準備してあるサンプルホルダーや探針ホルダーを
　　　専用棒を用いてサンプルストック台にSETする。

�K　chamber#3の上ぶたを新しいガスケットでCLOSEする。

�L　N2リーク弁をCLOSEする。

�M　RPをONする。

�N　TMPをSTARTする。
　　　”56KRPM”の表示が出たら真空計３をONする。