半導体集積回路は、21世紀を迎えさらに高集積化が期待されていますが、個々のデバイスの大きさは今やナノメートルの世界に辿り着きつつあります。
この潮流は、デバイスサイズ、集積度の経年変化を示すムーアの法則として
知られています。(図1) この図からもわかるように、このまま微細化が進めば、10年から15年後にはデバイスサイズが10ナノメートル程度になり、論理
演算素子として現在使われている従来のトランジスタの動作原理は破綻する
と予想され、質的に新しい技術を確立していくことが望まれています。
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