拠点について

装置リスト

 
No 装置名/メーカー 型式 特徴と主な仕様 設置場所 管理者
1 大気プラズマCVDシステム
Surfx
Atomflo 500D 大気中での低温プラズマ: 出力 20-150W
プラズマガス:He or Ar
3
Scan System
千現地区 
界面制御実験棟
渡邊 誠
2 高ひずみ速度付与加工熱処理シミュレータ
富士伝播工機株式会社
  加工熱処理装置
最大負荷荷重
20ton
平面ひずみ圧縮と円柱圧縮が可能
加工温度範囲:
RT-1250
千現地区 
組織制御棟 
大型実験室(1)
井上 忠信
3 ファイバーレーザアシスト型クリーンMIG溶接システム
レーザックス
()
  ファイバーレーザ(QCW 6kW)により、ワイヤの溶融挙動を制御し、純Arシールドガス中でも安定な溶滴移行を行うことが可能 千現地区 
材料創製棟 
117
中村 照美
4 プレカーサー加熱炉
ヤマト科学
DH411 内部の物質を350度まで加熱可能
内層大きさ 
450×450×450 mm3 
温度変動 
±0.2℃以内(ケーブル穴をゴム栓でふさいでいる状態にて)
温度分布 
±3.0℃以内 (ケーブル穴をゴム栓でふさいでいる状態にて)
千現地区 
界面制御実験棟
渡邊 誠
5 グローブボックス
グローブボックス・ジャパン
GBJF080 真空ガス置換できるタイプのグローブボックス
酸素濃度測定可能
真空ポンプ付属
千現地区 
界面制御実験棟
渡邊 誠
6 高温用光音響測定装置
日本レーザー
カスタム 高出力ピコ秒レーザ仕様:パルス時間幅 600ps、パルスエネルギー 0.5mJ、繰り返し周波数 シングル~10kHz
高感度・高周波レーザー振動計仕様:振動検出感度 <3μm/s/sqr(Hz)、計測距離範囲 300800mm以上
千現地区 
精密計測実験棟 
222
山脇 寿
7 非接触超音波伝播画像測定装置
日本電計
カスタム レーザドップラー振動計とパルスレーザーによる非接触超音波送受信、超音波発生用レーザ光のスキャンシステムによる材料表面における伝播超音波振動の画像化
面内・面外超音波振動の
2次元同時非接触受信
千現地区 
先進構造材料研究棟
119
山脇 寿
8 光ファイバー振動分布計測システム
ニューブレクス
NUBRESCOPE NBX-7022
 + NEUBREGATE
シングルモード光ファイバーによる温度、歪、振動の同時計測
最大空間分解能:
2cm (10km)
ひずみ測定精度:10με(10km)
振動レンジ:DC-1kHz (1km)
千現地区 
構造材料実験棟 
107号室
志波 光晴
9 ワイヤレスセンサーネットワークシステム
日本フィジカル・アコースティクス
スマートリモートセンサハイウェイII
 +
ワイヤレスAEモジュール
AE(4/4/16cn)、腐食(ACM4ch)、疲労センサー(スマートパッチ:8ch)の情報をワイヤレスネットワークで遠隔集録
インターネット回線を介してデータ保存・解析
3つの独立したゾーンのデータを収録可能
千現地区 
構造材料実験棟 
107号室
志波 光晴
10 減圧プラズマ溶射装置
プラズマ技研工業+プラックスエア
Model SG-100
+ PGK controller, chamber
最大電気入力 80kW
Ar, He, H
2
粉末内部供給方式
大型ロータリーポンプによる排気・圧力制御
千現地区 
材料創製実験棟 
103号室
黒田 聖治
11 高速フレーム溶射装置
プラックスエア
+プラズマ技研
JP5000HP-WS 灯油と酸素を混合・燃焼させることによって超音速の燃焼ガスジェットを発生、
燃焼室圧力:低圧版 
1MPa, 高圧版 4MPa Max、
バレル長可変 (
100400 mm)
千現地区 
材料創製実験棟 
105号室
黒田 聖治
12 25ton加工熱処理シミュレータ
富士電波工機株式会社
  多方工加工熱処理装置 サンプル回転機構
最大負荷荷重
25トン、平面ひずみ圧縮
ひずみ速度
0.01-10/s、加工温度範囲:RT-1250
千現地区 
材料創製実験棟 
112号室
花村 年裕
13 プラズマイオンプレーティングコーティング装置
神港精機(株)
 
42112300 炭化物、窒化物、酸化物の薄膜合成が可能、
最大基板温度:
773K、反応ガス圧:10-210-4Pa
千現地区 
構造材料実験棟 
111号室
鈴木
14 プラズマ溶射装置
スルザーメテコ
Triplex Pro-210 3本のアークによってプラズマジェットを形成
浮遊電極を用いてアーク長を固定
最大
90W
Ar, He, N
2, H2
千現地区 
材料創製実験棟 
104号室
黒田 聖治
15 テラヘルツ送受信特性評価装置
アイスペック・インスツルメンツ
avpIRS-5000-ST,WB,
UFS, MCM-sp
測定帯域: 0.02-15THz
遠距離場走査面積:10mm60mm (0.5mmピッチ)
近距離場走査面積:5mm5mm (0.5mmピッチ)
偏光特性測定機能
千現地区 
先進構造材料研究棟 
119号室
志波 光晴
16 大気中プラズマ溶射装置
プラックスエア
Model SG-100 最大電気入力 80kW
Ar, He, H
2
粉末内部供給方式
千現地区 
材料創製実験棟 
104号室
黒田 聖治
17 金属セル構造材料作製装置(金属粉末レーザー造型機、真空含浸装置、高温真空プレス、多目的高温炉、ポロシメーター)
株式会社ナイカイ
  レーザー3次元造形90x90x80mm
高温焼結(2200℃)
高温プレス(
400℃、1400kN500x500mm
ポリマー含浸(
0.5MPa
千現地区 
材強棟 
206室/
物性棟 
101室/
材創棟 
107室/
ファイン棟 
122
岸本 哲
18 波長変換用基本波レーザーユニット
Quantel Laser
Centurion/Ulatra Nd:YAG レーザー 発振波長 1064 nm
最大出力100mJ, パルス幅7.82ns, 繰り返20Hz
最大出力 40mJ, パルス幅9.0ns,繰り返し100Hz
コンパクト、冷却水不要
並木地区 
先端機能性材料研究センター棟 
208号室
渡邊 誠
19 光パラメトリック発振装置
株式会社オキサイド
  光パラメトリック発振で波長2.953.55ミクロンの中赤外光を発振 NIMSオリジナルの周期的に分極反転した定比タンタル酸リチウム結晶を波長変換用素子として使用
コンパクト高効率波長変換、簡便な光学アライメント
並木地区 
先端機能性材料研究センター棟 
208号室
渡邊 誠
20 中赤外分光計測システム
株式会社フェイラ
  赤外光の波長、強度を正確に計測できる
アイドラ光検出:測定波長域 
2.9から4.3mm、分解能< 45nm
シグナル光検出:測定波長域 1.4 から2.5mm 分解能< 20nm
データ処理:アイドラー光、シグナル光を同時に表示できる
並木地区 
先端機能性材料研究センター棟 
208号室
渡邊 誠
21 強誘電体熱処理装置
株式会社ユーロシステム
EURF-1600-A 常用使用温度 1600C、 試料室 100φx120L
印加電圧20kV、電流 50mA
使用雰囲気 空気、窒素、酸素
並木地区 
高温合成特殊実験棟 
211号室
山田  裕久
22 テラヘルツ発振装置 (レーザー既存)
有限会社スペクトルデサイン
  周期的分極反転素子から、単色テラヘルツ光を発振
0.51.5THz領域内の単一周波数テラヘルツ電磁波を発振
3種類の周期分極反転素子を備え、他のタイプの周波数変換素子との交換が可能
並木地区 
無振動特殊実験棟 
106号室
渡邊 誠
23 テラヘルツ分光計測システム
有限会社アルファバグ
  本装置は、下記部より構成され、0.53THzの単一周波数テラヘルツ電磁波を分光計測する
光路長遅延回路 テラヘルツ光学系・検出器 ③ 信号処理機器 制御・スペクトル解析ソフトウェア レーザー光学系
並木地区 
無振動特殊実験棟 
106号室
渡邊 誠
24 テラヘルツイメージングシステム
有限会社スペクトルデザイン
  以下のように構成されテラヘルツ波のイメージ像を計測:
①入射・反射受光光学系、②テラヘルツ波用集光レンズ、③検出器、④⑤サンプル移動ステージ、⑥サンプル走査ステージドライバー、⑦ソフトウェア
並木地区 
無振動特殊実験棟 
106号室
渡邊 誠
25 コンビナトリアル高温トライボシステム
大和機器工業、新東科学、リガク
コンビナトリアル高温トライボシステム 高周波マグネトロンスパッタ、最高加熱高温:1100K以上(真空中)
2次電子像空間分解能:3nm以下
摩擦係数測定範囲:
0.012.0(印可最大荷重9.8N
雰囲気真空圧力:
10E-5Pa台以下出試料搬送
千現地区 
材料信頼性実験棟
土佐正弘
26 トライボスパッタ装置
アルバック、他
MUE-2000HC4-2、他 トライボ成膜、二硫化モリブデン、スパッタ
真空場真空成膜装置、
.極高真空AFM/STM複合コンポーネント
超高真空回転導入駆動スパッタ蒸着電極
成膜室極高真空排気システム、表面特殊成膜源
千現地区 
材料信頼性実験棟 
330号室
後藤 真宏
27 成膜およびガス透過評価装置
日本真空技術
  スパッタ方式:13.56MHz高周波マグネトロン式
最大印可電力:
300W
気体分子質量分析:m/e:1-150四重極式
最高ガス透過加熱温度:
800
千現地区 
材料信頼性実験棟 
331号室
土佐正弘
28 真空場真空成膜装置
日本真空技術株式会社
MUE-2000HC4-2 ベース真空度:10-6Pa台以下
高周波マグネトロンスパッタ蒸着
:最大電力200W
真空蒸着:電子ビーム、同時多源成膜:最大4
基板加熱:最高
500℃、基板傾斜操作:最大90°
千現地区 
物性解析実験棟 
406号室
土佐正弘
29 高温ナノインデンター
オミクロン
カスタム 局所領域の硬さ、ヤング率が室温~1000度までの温度範囲で可能 千現地区 
先進構造材料研究棟 
118
村上 秀之
30 プラズマ分光分析装置
オーシャンオプティクス社
USB2000+ 分析可能な周波数帯域は、 紫外~可視光領域に対応したプラズマ分光装置
光学分解能は
0.96 nm以下
千現地区 
界面制御実験棟
渡邊 誠
31 X線残留応力測定装置
パルステック工業
μ-XRD360 単一入射/cosα
X線管はCrのみ(交換不可)
二次元
X線検出器によってデバイリングを測定・解析
結晶配向や粗大粒の観察可能
千現地区 
標準実験棟 
137
黒田 聖治
32 局所変形観察・解析電子顕微鏡
日本電子
JEM-2800 透過型電子顕微鏡、走査透過型電子顕微鏡、
EDS,EELSの分析装置を装備、
方位マップ取得機能を装備。
千現地区 
構造材料研究棟 
115
原 徹
33 清浄表面組織観察用FIB-SEM装置
カールツァイス
AurigaLaser FIB-SEM装置、レーザーによる粗加工機能を装備、
EDS,EBSDの分析装置を装備。
千現地区 
構造材料研究棟 
109
原 徹
34 フォーマスター
富士電波工機株式会社
  金属の相変態測定用熱膨張計、最高加熱温度:1400℃、高周波加熱
冷却速度:
0.1-100K/s、サンプルサイズ:直径3mm x長さ10mm
千現地区 
標準実験棟 
742号室
花村 年裕
35 走査プローブ顕微鏡
日本ブルカー
NanoScope IIIa スキャナー走査範囲100μm×100μm
タッピングモード、コンタクトモード。
千現地区 
標準実験棟 
332号室
早川 正夫
36 走査型マイクロオージェ電子分光分析器
アルバックファイ
SAM660 同軸円筒鏡型電子エネルギー分光分析
分析時雰囲気真空圧力:
10-7Pa台以下
オージェ電子分光分析空間分解能:
300nm径以下
アルゴンイオンスパッタ方式深さ方向組成分析
千現地区 
材料信頼性実験棟 
331号室
土佐正弘
37 微細組織三次元マルチスケール解析装置
日立ハイテクサイエンス
SMF-1000 SEM観察機能重視トリプルビーム(FIB-SEM-Arイオン)装置
FIBSEM鏡筒が直角に配置(高い空間分解能&コントラスト)
FIB:最高1nmピッチ制御、加工&観察繰返しで3D像再構築
多種類観察(
3D像再構築、STEMTEM試料作製、EDS測定)
千現地区 
構造材料研究棟 
109
原 徹
38 マイクロフォーカスX線CT装置
(株)島津製作所
SMX-160CT-SV3 超微小焦点(φ0.4μmX線源を用いた高分解能XCT装置
高速
CT処理、材料内部&欠陥構造や組織分散の評価
最大
160kVの高出力(高透過能):軽金属なら数cmオーダー透過可能
千現地区 
先進構造材料研究棟 
118
渡邊 誠
39 表面・界面物性解析装置
(株)三ツワフロンテック
NN04W 剥離強度測定:コーティング材の密着性を数値化
せん断強度測定:コーティング材の強度を数値化
強度の深さ方向解析:材料変質の深さ測定
千現地区 
ファインプロセス実験棟 
204号室
後藤 真宏
40 触針式表面形状測定器
日本真空(株)
Dectak 150 垂直分解能(nm)/測定レンジ(μm)0.1/6.5, 1/65.5, 8/524
測定距離:50μm55mm、触針圧:115mg
サンプルステージ直径:206mm、最大サンプル厚:45mm
操作環境(OS)Microsoft® Windows XP (英語版)
千現地区 
ファインプロセス実験棟 
204号室
土佐正弘
41 走査型サーマルプローブマイクロイメージ
アルバック理工
STPM-1000 ゼーベック係数・熱伝導・分布測定 千現地区 
先進構造材料研究棟 
302
後藤 真宏
42 脱離ガス分析型高温腐食装置(高温離脱ガス分析装置)
株式会社 リガク
TPD type-R ガスセレクター・水蒸気発生装置付き 高温にて試料から離脱するガスを 質量分析装置によって分析
各種ガス雰囲気中で
1200℃まで加熱可能
4重極質量分析器が試料に近いところに設置
千現地区 
先進構造材料研究棟 
210
村上 秀之
43 MatNaviシステムおよびデータ群の遠隔バックアップシステム
富士通、
HP
富士通 ETERNUS CS800 S4 Entry
HP StoreEasy 1430
千現地区に設置しているNIMS物質・材料データベース(MatNavi)システムおよびデータ群をストレージにバックアップ保存し、そのレプリケーションを桜地区に保存
データ拡充作業者用パソコンのバックアップ
千現地区 
物性解析実験棟 
410
桜地区 研究棟 
313
桑島 功
44 計算クラスター+FEMソフト
HP SIMULIA
HP ProLiant DL560Gen8
SIMULIA ABAQUS
SIMULIA fe-safe
32コア(4CPU/コア)×4台の計算サーバー
1台は独立、3台は連携して稼動
温度・歪・応力分布の予測
亀裂進展速度・余寿命の予測
千現地区 
標準実験棟 
642
北嶋 具教
45 超臨界水酸化試験装置 
超臨界水酸化試験装置用圧力容器
日東高圧(株)
  電気伝導度と溶存酸素量を調節、任意の温度と圧力に設定した高温高圧水蒸気または超臨界水を2つの圧力容器に供給する
圧力容器:
2.5L×2
最高使用温度および圧力:70025MPa65025MPa
千現地区 
先進構造材料研究棟
207
戸田 佳明
46 引張試験機
インストロン
インストロン8802型試験 丸棒引張試験、油圧式機構、試験片サイズ:3.5mmΦ 千現地区 
構造材料実験棟 
102号室
花村 年裕
47 セラミック高温試験機
島津製作所
AG-50kNXplus 真空、不活性ガス中2000℃までの試験に対応
12連式
並木地区 
無振動特殊実験棟 
108号室
西村 聡之
48 マルチスケール特性評価システム
()ナイカイ
  FE-SEMその場負荷デバイス(引張、曲げ、圧縮:最大5KN
ナノサーチ顕微鏡:レーザー顕微鏡部と走査プローブ顕微鏡部から構成
ナノインデンテーション(粘弾性、加熱ステージ
RT400℃)
レーザーラマン分光による応力測定
繊維/マトリックス界面力学特性(ドロップレット試験装置)
超音波映像装置
千現地区 
材料強度実験棟 
207
千現地区
精密計測実験棟 
223
田中 義久
49 接合界面微小欠陥その場観察並びに接合界面リーク検出システム
東機通商
環境チャンバならびに熱分析用カメラポート付きOBIRCHシステム 金属を含有する種々の接合材料界面に発生した欠陥の検出、その進展挙動観察ならびに欠陥が誘起するリーク経路の特定を、欠陥部位における熱特性の変化を利用して行う
試料加熱により抵抗が変化する特性を利用,欠陥の存在等で生じる電流の大きさに応じた明暗を画面上対応した位置に表示
並木地区 
研究本館 
216号室
重藤 暁津
50 大型クリープ試験機及びクリープ試験用温度伸びデータ計測システム
島津製作所、太陽計測
カスタム 最大荷重10tonでクリープ試験可能
試験温度は~
800
自家発電設備により停電発生時でも連続試験可能
試験片およびチャック間の変位測定可能
千現地区 
先進構造材料研究棟
1F
木村 一弘
51 電磁共振式疲労試験機
ズウイック
vibrophone100 容量:50kN
周波数:
120Hz前後。
千現地区 
材料強度実験棟 
115
蛭川 寿
52 環境制御装置付疲労試験機
島津製作所
サーボパルサー 容量:50kN
周波数:~20Hz
液槽及び循環ポンプ
千現地区 
材料強度実験棟 
112
古谷 佳之
53 電子構造・結晶構造データベースおよび熱物性予測システムの高度化
Dell
PowerEdge R620 第一原理計算の結果を格納したデータベース 千現地区 
物性解析実験棟 
410
桑島 功
54 第1原理計算自動計算システム
HP
ProLiant ML350pGen8
ProLiant DL160Gen8
256コア(8コア×2×16)の計算機と第一原理計算を自動実行するシステム 千現地区 
物性解析実験棟 
410
桑島 功
55 マルチスケールその場損傷観察装置
島津製作所
Quanta 200 FEG 熱電界放出電子銃(TFE)を搭載し、高分解能で観察する高真空モードとセラミックスや半導体などの非導電性材料を前処理(導電コーティングなど)なしで観察するための低真空モード、さらにバイオ材料などの水分を保持したウエット状態で観察出来る極低真空観察モードを搭載 千現地区 
精密計測実験棟 
224
田中 義久
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