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加工・作製

ガラス加工

ガラス加工
  • 硝子工作室装置群


素材作製

溶解
  • 水冷銅ルツボ高周波誘導溶解設備
  • 5kg高周波誘導真空溶解設備
  • 30kg高周波誘導真空溶解設備
  • 加圧式エレクトロスラグ再溶解設備
鍛造
  • 鍛造設備 (油圧プレス)
  • 70ton大型スウェージングマシーン
  • 18ton小型スウェージングマシーン
圧延
  • 熱間2段ロール圧延機
  • 溝ロール圧延機
  • 冷間4段ロール圧延機
  • 歪み速度制御圧延機
  • 金属箔圧延機
加熱炉
  • 鍛圧用加熱炉(max.1250℃)
  • 鍛圧用移動式加熱炉(max.1200℃)
  • 溝圧用加熱炉(max.1250℃)
  • 熱処理炉(max.1400℃)
  • 焼鈍用熱処理炉(max.850℃)
  • マルチ冷却式真空熱処理炉
その他創製・加工
  • 電子ビーム溶接機
  • ワイヤ放電加工機
  • 材料創製共通設備群
  • 千現機械工作室 工作機械群
  • 並木機械工作室 工作機械群
  • 試料作製室装置群


微細加工

描画・露光
  • 125kV電子ビーム描画装置
  • 100kV電子ビーム描画装置
  • EB描画装置
  • ナノインプリント装置
  • 高速マスクレス露光装置
  • レーザー露光装置
  • マスクアライナー
  • コンタクトアライナー
薄膜形成
  • 全自動スパッタ装置
  • 超高真空スパッタ装置
  • 多元スパッタ装置(i-miller)
  • スパッタ1号機
  • スパッタ2号機
  • 12連電子銃型蒸着装置
  • 多連電子ビーム蒸着装置
  • 抵抗加熱蒸着装置
  • プラズマCVD装置
  • パルスレーザー堆積装置
  • 原子層堆積装置(1)
  • 原子層堆積装置(2)
エッチング
  • 多目的ドライエッチング装置
  • 化合物ドライエッチング装置
  • シリコン深堀エッチング装置
  • 酸化膜ドライエッチング装置
  • ドライエッチング装置
  • 高圧ジェットリフトオフ装置
  • プラズマアッシャー(1)
  • プラズマアッシャー(2)
  • UVオゾンクリーナー
  • エキシマクリーナー
熱処理
  • ウエハRTA装置
  • 急速赤外線アニール炉
  • RTA(赤外線急速アニール炉:20mm)
  • RTA(赤外線急速アニール炉:6inch)
  • シリコン酸化炉
小片・薄片化
  • ダイシングソー
  • ダイシング装置
  • 自動スクライバー
  • CMP研磨装置


共用装置