微細加工ユニット
NIMS微細加工オープンファシリティ
2023.04.01 更新
当ユニットが運用管理している微細加工クリーンルームは、NIMSの研究者のみならず、企業・大学等の方も同じように利用できる共用施設です。2つのクリーンルームに計60台ほどの最先端微細加工プロセス装置及び観察・計測装置が整備されています。シリコンのみならず、化合物半導体や酸化物・金属材料、ナノチューブやナノシートなど、多種多様な材料研究が行える場として、これまでに多くの企業・大学の方々にご利用いただいております。我々のミッションは微細加工クリーンルームの施設・設備の共用及びプロセス技術開発・技術支援を通じて、共用施設発イノベーションの創出に貢献することです。基礎基盤研究から応用技術開発まで、様々なフェーズの研究開発に是非ご活用ください。
