DLC(ダイヤモンド状炭素）膜は超低摩擦係数、超硬質で耐摩耗性に優れています。プラズマイオン注入では室温で複雑形状立体物に超硬質低摩擦のDLC膜を被覆できますが膜の密着性が不十分です。本研究では膜の密着力強化のため、ＡＩ酸化膜の高密度微細孔をマスクとして基材表面にアンカー孔加工を行いプラズマイオン注入によりＤＬＣ膜を注入被覆し基材中に高密度に微小な根を張ったＤＬＣ膜を作製し、その密着性を評価しています。