弾性波フィルター用 圧電体薄膜結晶の開発

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圧電体の位置づけ

  32の点群のうち圧電性のあるものは20
  (対称中心を持たない)
対 象:
 ・弾性波フィルター用圧電体単結晶・薄膜(KNbO、Pb2KNbO15)
 ・強誘電体メモリー用単結晶・圧膜・薄膜(Bi4Ti3O12)
手 法:
 ・独自のFz-PD法、チューブシードCz法、ゾーン溶融法によるバルク単結晶育成
 ・ゾルゲル法、PLD法による圧膜・薄膜のバルク単結晶基板からのホモエピタキシャル育成、単結晶・膜の特性評価
 ・新しい結晶育成場の利用
                                   ⇒ バルクと薄膜の融合