研究装置紹介

実験設備の紹介

1. 微細加工

  • 電子ビーム露光システム(ZrO/W熱電界放射型エミッター、加速電圧5~50kV、最小線幅 10nm)、UVマスクアライナ、レーザー加工システム、分子膜微細加工システム

  • 薄膜素子作製
    真空一貫素子作製&評価システム、各種薄膜作製器、各種表面処理装置、有機材料昇華精製装置、グローブボックス、など

  • 形状観察および表面観察
    原子間力顕微鏡、形状プロファイラ、EDX付3Dリアルサーフェスビュー電子顕微鏡、エミッション顕微鏡、偏光顕微鏡、高速記録顕微鏡、16bit高精細顕微鏡、実体顕微鏡、など

 

 

 

2. 特性評価 (電気伝導、光学特性)

  • 真空低温プローバ、真空セミオートプローバ、昇温プローバ、低温伝導評価システム、ラマン評価システム、イオン化エネルギー測定システム、分光光度計、など