セラミックス試料作製装置群
（並木地区 超高圧電子顕微鏡特殊実験棟 110室）
- 精密イオン研磨装置 (Gatan 695 PIPSⅡ) 精密イオン研磨装置
イオンビームエネルギー: 0.1〜8 keV
試料冷却が可能 
- 小型精密切断器 (Technoorg Linda MS2 Microsaw) 50 mmダイヤモンド回転刃
- 卓上研磨機 (マルトー ML-180) 研磨回転数: 50〜500 rpm
- 標準形デジタルインジケータ (ミツトヨ 543-175) ゼロセット機能付属
- ディンプルグラインダ (Gatan 656 DimpleGrinder)
ガタン社製656 DimpleGrinder
研磨ホイール経: 15 mm
研磨荷重: 0〜40 g
自動停止機構付属 
- ホットプレート (アズワン HP-1SA) ハイパワーデジタルホットプレート
最高温度400 ℃ 
- マルチコーター (真空デバイス VES-30T) 複合機能をもつマルチコーター
蒸着
イオンスパッタ
親水処理 
- 集束イオンビーム加工装置 (日立ハイテクノロジーズ FB-2000S)
加速電圧30 kV
マイクロサンプリング機能付属