TEM試料作製装置
- イオンスライサー EM-09100IS (JEOL)
加速電圧: 1〜8 kV
研磨角: ±6°(0.1°ステップ)
使用ガス: アルゴン 
- 精密イオン研磨装置 Model 691 PIPS (Gatan)
加速電圧: 0.1～6 kV、
研磨角: ±10°(0.1°ステップ)
使用ガス: アルゴン
液体窒素冷却ステージ 
- 精密イオン研磨装置 Model 695 PIPS Ⅱ (Gatan)
加速電圧: 0.1～8 kV
冷却ステージ 
- ディンプルグラインダー Model 656 (Gatan)
試料研磨ホイール径: 15 mm
試料研磨荷重: 0〜40 g
研磨ホイル回転速度: 0〜600 rpm
初期試料厚さ: 200 µm以下
自動停止機構付き
- くさび形研磨装置 マルチプレップ (Allied)
試料傾斜角度: 0〜10°
研磨盤回転速度: 5〜350 rpm
試料研磨荷重: 0〜600 g
研磨量をコントロールできる精密マイクロメーター付き 
- 平面研磨装置 ダイヤラップ (マルトー)
ML-150L: 85〜170 rpm (粗研磨用)
ML-150P: 30〜190 rpm (鏡面仕上げ用)
研磨剤: SiC, Al2O3など 
- 精密コーティングシステム Model 682 PECS (Gatan)
加速電圧: 1〜10 kV
使用ガス: アルゴン
蒸着方式: イオンビームスパッタ
ターゲット: カーボン、クロム、プラチナ、金パラジウム 
- オスミウムコーター NL-OPC80A (Filgen)
蒸着方式: 2極DCグロー放電スパッタ
ターゲット: オスミウム 
- カーボンコーター JEC-560 (JEOL)
蒸着方式: 抵抗加熱
ターゲット: カーボン 
- 金コーター JFC-1500 (JEOL)
蒸着方式: 2極DCグロー放電スパッタ
ターゲット: 金 
- 白金コーター JFC-1600 (JEOL)
蒸着方式: マグネトロン
ターゲット: 白金 
- 自動精密切断機 ISOMET (Buehler)
低速回転/軽荷重
4インチダイヤモンド切断砥石
ブレード回転数: 0〜300 rpm 
- 超音波ディスクカッター Model 601 (Gatan)
3mmΦディスク型カッティングツール
研磨剤: SiC など 
- TEM試料作製補助装置群
光学顕微鏡
ホットプレート
超音波洗浄機 など
一部装置は技術代行のみの受付となります。
(千現地区 精密棟108室)