国立研究開発法人 物質・材料研究機構
微細構造解析プラットフォーム事務局

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表面分析(Surface Analysis)





飛行時間型二次イオン質量分析装置 (PHI TRIFT V nanoTOF) TOF-SIMSは、固体表面に1E12 ions/cm2以下の条件でパルス状一次イオンを照射し、試料表面から放出される二次イオンを、飛行時間型質量分析器を用いて質量分析する手法です。専門家スタッフの技術代行のもとに、高質量分解能スペクトル測定、2Dイメージング、深さ方向分析、 3D分析が可能で、半導体材料等の無機材料から高分子等の有機材料等、さまざまな材料の解析の支援を行います。

(千現地区 精密計測実験棟 123室)





電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置 (JXA-8500F) 電界放出形電子線プローブマイクロアナライザー装置JXA-8500F FE-EPMAは、FE電子銃搭載の高感度微小領域EPMAで、0.1μmオーダーの元素分析が可能。金属、半導体等の表面の組成分析、元素の二次元分布分析(マップ)が可能。




走査型オージェ電子分光分析装置(PHI680) 走査型オージェ電子分光分析装置PHI680 AESは、電子線照射により表面から放出されるオージェ電子の運動エネルギーと強度を測定する表面分析手法で、微小領域の組成分析や、高倍率で元素の二次元分布分析(マップ)、及び深さ方向分析が可能。




ガス吸着型比表面積・ナノ細孔径評価装置(BELSORP-max/BELSORP-HP) ナノ粒子・マイクロ粒子・ナノファイバー・ナノチューブの比表面積測定・平均粒径の算出。多孔性材料の細孔径分布評価。窒素ガスの吸着による200 nm以下のメソ孔や2 nm以下のマイクロ孔の細孔径分布評価に対応。その他、水蒸気吸着やアルコールなどの有機分子の蒸気吸着測定、 高圧ガス吸着測定。