ヘリウムイオン顕微鏡(He lon Microscope)
- 走査型ヘリウムイオン顕微鏡 (ORION Plus)
カールツァイス社製
故障中（2021.8.25）
原子スケールイオン源、回折効果の極小化等により、サブナノメー トルの分解能を実現した走査型イオン顕微鏡です。 高元素識別性、 低損傷性、絶縁体高観察能力、大焦点深度。イオンビームによるナ ノスケール加工も可能です。H26年度よりガス導入システム（GIS）を追加し、イオンビーム誘起ガス分解堆積を利用して、金属や絶縁体などのナノスケール構造体の創製が可能です。
（千現地区 材料信頼性実験棟 116室）