国立研究開発法人 物質・材料研究機構
微細構造解析プラットフォーム事務局

E-mail:nmcp[at]nims.go.jp
([at]を@に置き換えてください)

ヘリウムイオン顕微鏡(He lon Microscope)

走査型ヘリウムイオン顕微鏡 (ORION Plus) カールツァイス社製
 故障中(2021.8.25)
原子スケールイオン源、回折効果の極小化等により、サブナノメー トルの分解能を実現した走査型イオン顕微鏡です。 高元素識別性、 低損傷性、絶縁体高観察能力、大焦点深度。イオンビームによるナ ノスケール加工も可能です。H26年度よりガス導入システム(GIS)を追加し、イオンビーム誘起ガス分解堆積を利用して、金属や絶縁体などのナノスケール構造体の創製が可能です。

(千現地区 材料信頼性実験棟 116室)